SEM扫描电子显微镜-EDS能谱仪测试仪

SEM&EDS组合是应用最广的显微分析仪器，它能快速、同时对各种试样的微区内的所有元素进行定性、定量分析。SEM&EDS在定性、定量分析时，是利用束径（10~1）µm范围的高能电子束，激发出试样µm范围的各种信息，进行成份、形貌等分析。成分分析的空间分辨率在立方µm范围，微区分析是其重要特点之一，它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。特征X-射线的产生是入射电子使内层壳电子激发而发生的现象。当内层电子被轰击后跳到比费米能级高的能级上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时，作为多余能量放出的就是特征X-射线。高能级的电子落入空位时，要遵从所谓的选择规则（Selection Rule），只允许满足轨道量子数l的变化Δl＝±1的特定跃迁。特征X-射线具有元素固有的能量，所以，将它们展开成谱后，根据它的能量值就可以确定元素的种类。而且根据谱的轻度分析就可以确定其含量。另外，从空位在内壳层形成的激发状态变到基态的过程中，除产生X-射线外，还放出俄歇电子。一般来说，随着原子序数增加，X-射线产生的几率（荧光产额）增大，但是，与它相伴的俄歇电子的产生几率却减小。因此，在分析试样中的微量杂质元素时，EDS对重元素的分析特别有效。